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TOC\o1-2\h\z\u拓荆科技：薄膜沉积设备核心厂商，聚焦先进制程 4

深耕前道沉积，子公司多元布局 4

薄膜沉积为基，延伸三维集成键合平台 5

平台化延展，新产品量产驱动业绩抬升 6

PECVD为当下薄膜沉积价值量核心，公司率先实现量产导入 9

薄膜沉积设备：在晶圆表面形成关键功能层 9

沉积工艺内部差异大，PECVD是价值量首位 11

公司PECVD设备已规模化量产并导入主流晶圆产线，卡位优势突出 12

混合键合设备打开公司第二增长曲线 14

制程逼近极限，系统性能向集成要增量 14

价值量随集成层级上移，混合键