MEMS可动结构接触可靠性：测试、影响因素与提升策略研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

1.1.1MEMS技术的发展与应用

微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术，作为在微电子技术基础上发展起来的前沿技术，融合了微电子技术与精密机械加工等微加工技术，并与现代信息技术相结合构成微型系统。该系统包含感知和处理外界诸如力、光、磁、热、化学等信息的传感器和执行器，以及负责信号处理和控制的电路部分，从广泛意义上讲，可视为一种系统集成芯片（SystemonChip，SOC）。MEMS技术具有多学科前沿高度综合、交叉和渗透的特性，应用