基本信息
文件名称：2026年半导体用光刻胶KrF项目建议书.docx
文件大小：54.15 KB
总页数：58 页
更新时间：2026-01-12
总字数：约3.44万字
文档摘要
TOC\o1-3\h\z\u171672026年半导体用光刻胶KrF项目建议书 3
23090一、项目背景 3
29851.半导体行业现状及发展趋势 3
101292.KrF光刻胶在半导体制造中的地位 4
174393.项目的重要性和紧迫性 5
23062二、项目目标与愿景 7
245701.项目总体目标 7
58642.具体目标（包括技术指标、市场份额等） 8
308463.项目愿景与长期发展规划 10
24586三、项目内容 11
261591.KrF光刻胶的研发方向 11
144182.关键技