MEMS传感器嵌入式捷关惯性测量单元：原理、发展与多元应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，传感器技术作为获取信息的关键手段，正发挥着越来越重要的作用。MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）传感器，即微机电系统传感器，作为传感器领域的重要分支，凭借其微型化、集成度高、成本低、功耗低等显著优势，成为了现代科技发展的关键支撑技术之一。MEMS传感器能够将机械部件、传感器、执行器和电子元件集成在微观尺度上，实现对物理量的精确感知与测量，为众多领域带来了革命性的变化。

嵌入式捷关惯性测量单元（InertialMeasurement