基本信息
文件名称：三氯氢硅生产技术及其反应器研究.pdf
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总页数：13 页
更新时间：2026-01-14
总字数：约6.78千字
文档摘要
一三氯氢硅简介
三氯氢硅
别名：硅氯仿、硅仿、三氯硅烷
用途：单晶硅原料、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮
化合物制造、电子气。
理化性质
分子量：135.43
沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：
1350kg/m3；相对密度(气体，空气1)：4.7；蒸气压(-
16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；
自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；下限：9.8%；毒性
级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：2
三氯硅烷