CMOS-MEMS技术赋能PZT电能收集器：电路输出优化与效能提升研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着物联网、可穿戴设备等领域的飞速发展，对小型化、高效能的能源供应需求日益迫切。传统电池技术在能量密度、使用寿命、环境友好性等方面存在诸多限制，难以满足这些新兴应用的长期、稳定运行需求。因此，开发新型的能源收集技术成为解决能源问题的关键途径之一。

CMOS-MEMS（互补金属氧化物半导体-微机电系统）技术作为一种融合了微电子和微机械加工的前沿技术，具有尺寸小、功耗低、可批量生产等显著优势，在传感器、执行器等领域取得了广泛应用。而PZT（锆钛酸铅）作为一种典型的压电材料，能够在机械应力