PDMS薄膜基柔性微纳结构：制备工艺、性能机理与多元应用的深度探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，柔性电子、生物医学、微机电系统（MEMS）等领域取得了显著的进步，对柔性微纳结构材料的需求也日益增长。在众多柔性材料中，聚二甲基硅氧烷（PDMS）薄膜因其独特的性能优势，成为构建柔性微纳结构的理想材料，在相关领域展现出了巨大的应用潜力。

PDMS是一种高分子有机硅化合物，具有出色的柔韧性、良好的化学稳定性和生物相容性。其杨氏模量较低，使其能够承受较大程度的弯曲、拉伸和扭转而不发生破裂或性能退化，这一特性使得PDMS薄膜在可穿戴电子设备、生物传感器等需要与复杂曲面或动