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摘要

基于MEMS工艺的微热板在气体传感器、红外光源、微热量计等领域有着很大的发展前景，微热

板因功耗低、响应快、易集成等优点在微电子领域占据一席之地。在过去的微热板研究中，薄膜电极

的制作工艺以溅射为主，虽然溅射得到的薄膜均匀性好，但溅射工艺的效率低、成本高；也产生了新

型电极制备工艺，但技术尚不成熟、稳定性较差。而化学镀工艺制备薄膜具有薄膜厚度一致、成

本低、不受限于基底形状等优点。本文提出了用化学镀制作薄膜电极的方法，并以此制作了以镍为电

极材料的“工“字形微热板。本文主要研究内容包括：对化学镀镍工艺和MEMS工