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基于数据驱动的微结构模具机器人抛光关键技术研究

摘要

随着微流控技术在生物医学、化学分析等领域的广泛应用，微流控芯片模具的高精度

抛光成为关键技术需求。传统模具抛光工艺存在效率低、精度难以保证等问题，已难以满

足当前微流控芯片制造的高精度要求。机器人抛光技术凭借其自动化、高精度等优势，为

微流控芯片模具抛光提供了新途径。本文围绕微流控芯片模具机器人抛光技术展开深入研

究，旨在提升模具表面质量与加工效率，主要研究内容如下：

（1）抛光工具材料与形状优化，以硅胶