钛掺杂三氧化钨薄膜的制备工艺与原位椭圆偏振光谱表征研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，三氧化钨（WO?）薄膜凭借其独特的物理和化学性质，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，受到了科研人员的广泛关注。WO?是一种宽带隙的过渡金属氧化物，其晶体结构多样，主要包括单斜、正交和立方晶体结构。这些不同的晶体结构赋予了WO?薄膜在光吸收、光电转换等方面优越的性能。例如，在光催化领域，WO?薄膜能够利用其光吸收特性，有效地分解水制氢以及降解有机污染物，为解决能源和环境问题提供了新的途径。在气体传感领域，WO?薄膜对多种有害气体具有良好的气敏性能，可用于检测空气中的NH?、NO?、H