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多焦点激光切割国内外研究现状文献综述

在使用单焦点激光切割时，激光器的主要能量集中于一点，在整体材料中能量分布不均匀难以保证切割分离过程中的稳定性，切割断面精度也不够。为防止激光焦点处能量密度过高导致的对材料的烧蚀，利用多焦点激光进行切割分离时，可改变透镜焦点位置，能量分布等参数，使得各焦点位置及能量能在玻璃厚度方向得到分布均匀分布，因此可以实现大厚度材料的加工。

丹麦的FORCEInstitute公司REF_Ref28311\r\h[8]最先实现了双焦点激光切割。如REF_Ref13087\h图1-4(a)所示，加拿大瑞尔森大学的VENKATA