基本信息

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文档摘要

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几何相位超表面：解锁超分辨成像新维度的功能器件探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与技术的众多领域，从生物医学成像对细胞和生物分子的精细观测，到半导体制造中对芯片微小结构的检测，从天文学对遥远天体的探测，到信息存储领域对高密度数据读取的需求，高分辨率成像都起着至关重要的作用。传统光学成像系统受到衍射极限的限制，如阿贝分辨率极限公式\Deltax=0.61\frac{\lambda}{NA}（其中\Deltax为最小分辨距离，\lambda为波长，NA为数值孔径）表明，当光斑尺寸接近光的半波长时，传统光学系统便无法进一步提高分辨率，这严重制约了对微观世界和精细结构的深入研