基本信息
文件名称：Lasair Lasair III 110 激光粒子计数器 说明书.pdf
文件大小：94.81 KB
总页数：2 页
更新时间：2026-01-19
总字数：约3.82千字
文档摘要
Lasair?III110
激光粒子计数器
优点
降低缺陷率
·实时监测导致制程缺陷的粒子变化
·使用移动式计数器定位粒子污染源