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文档摘要

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微磷阻垢缓蚀剂

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

2－膦酸基丁烷－1，2，4－三羧酸(PBTCA)

10

—

—

30

20

2－羟基膦酰基乙酸（HPAA）

—

40

20

—

—

四元共聚物

350

200

300

280

350

三元共聚物

150

400

300

250

220

苯骈三氮唑

10

—

20

—

10

甲基苯骈三氮唑

—

40

—

30

—

氯化锌

10

—

—

20

30

七水硫酸锌

－

30

30

－

－

去离子水

470

290

330

390

370

制备方法将上述原料按预定比例在反应釜中进行混合，混合的环境温度为20～30℃，