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文档摘要

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无氟感光YBCO凝胶薄膜的制备工艺与阵列特性研究

一、引言

1.1研究背景与意义

自1911年荷兰物理学家海克?卡末林?昂内斯发现超导现象以来，超导材料因其零电阻、完全抗磁性和磁通量子化等独特性质，成为了凝聚态物理领域的研究热点。其中，钇钡铜氧（YBCO，YBa_2Cu_3O_{7-x}）作为一种典型的高温超导材料，具有较高的临界转变温度（T_c），可达90K左右，这使其在液氮温度（77K）下即可展现出超导特性，大大降低了制冷成本和技术难度，在超导电子器件、电力传输、磁悬浮等领域展现出巨大的应用潜力。

在超导电子器件领域，YBCO薄膜是制备超导量子比特、超导滤波器、超导探测器等