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文档摘要

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多功能缓蚀剂

原料配比

表1聚醚

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

二乙烯三胺

23

－

－

三乙烯四胺

－

23

－

乙二胺

－

－

23

二甲苯

80ml

80ml

80ml

氢氧化钾催化剂

0.2

－

－

氢氧化钠催化剂

－

0.2

0.2

PO

70

70

70

EO

15

15

15

表2缓蚀剂

原料

配比（质量份）

1#

2#

聚醚

41

40

无水乙醇

220ml

－

1，2-二氯乙烷

－

200ml

溴乙基磺酸钠

36

－

1,3-丙撑基亚磺酸内酯

－

21

煤油

－

40ml

制备方法

（1）以有机胺为起始剂，这些起始剂可以是乙二胺，二乙烯三胺，三乙烯四