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文件名称：硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液.doc
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总页数：3 页
更新时间：2026-01-23
总字数：约2.51千字
文档摘要
硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
研
磨
料
10~30nm纳米的二氧化硅
20
5
5
5
－
5
5
120nm纳米二氧化钛
－
－
2
－
－
2
－
40nm纳米二氧化钛
－
4
－
－
－
－
－
80nm纳米氧化铝
－
－
－
2
－
－
2
氧
化
剂
H2O2
－
－
3
1
－
2
－
过氧化氢脲
－
10
－
5
－
－
7
过氧化氢
6
－
－
－
－
－
－
过硫酸铵
－
－
－
－
4
1
－
螯
合
剂
乙二胺四乙酸铵
－
0.5
2
－
－
－
－
羟乙基乙二胺四乙酸铵
0.3