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文档摘要

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纳米氧化铈复合磨粒抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

分散剂聚乙二醇

1

－

分散剂六偏磷酸钠

－

1

氧化剂

0.5

2

缓蚀剂苯并三氮唑

0.1

0.1

润滑剂磷酸酯

0.1

0.1

制备方法

（1）氧化铈复合磨粒的制备：采用均相沉淀法制备，称取5克粒径为30nm的SiO2无机研磨剂粒子，将其分散到100ml水中，随后分别加入10ml浓度0.6mol/L的CO(NH2)2溶液和10ml浓度为0.3mol/L的(NH4)2Ce(NO3)6溶液；将配好的混合液倒入三颈烧瓶中，用套式恒温器加热至100℃，并用电动搅拌器搅拌，在搅拌下加热回流反应7小时。反应完毕冷却至室温