12t_h半导体超纯水系统维护保养方案.docx

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文件名称：12t_h半导体超纯水系统维护保养方案.docx

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更新时间：2026-01-22

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文档摘要

12t/h半导体超纯水系统维护保养方案

本方案针对12t/h半导体超纯水系统（工艺流程：板式换热器+叠片过滤器+超滤+活性炭过滤器+一级反渗透+二级反渗透+EDI+TOC+脱气膜+抛光混床+终端超滤）制定，涵盖日常维护保养、检查检测、耗材更换清单及年度维护保养计划，旨在保障系统稳定运行，产出符合半导体行业标准的超纯水，延长设备使用寿命。

一、日常设备维护保养（每日执行）

（一）板式换热器

检查换热器进出口温度、压力差，确保温差控制在设计范围内（通常≤5℃），压力差≤0.1MPa，若超出范围及时排查堵塞或泄漏问题。