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文档摘要

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微晶玻璃加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

10nm水溶性二氧化硅溶胶液体，重量浓度为20%

30

－

30nm水溶性二氧化硅溶胶液体，重量浓度为30%

－

25

120nm二氧化硅粉末

5

－

80nm二氧化硅粉末

－

15

聚合度为20的脂肪醇聚氧乙烯醚

0.2

－

十二烷基酚聚氧乙烯（10）醚

－

0.3

氢氧化钾

3

－

四甲基氢氧化铵

－

1

去离子水

61.8

58.7

制备方法先将二氧化硅粉末均匀分散于放置在容器罐内的去离子水中，然后在至少千级净化室的环境内，25℃条件下，在0.1MPa真空负压动力下，通过质量流量计将水溶性二氧化硅