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文档摘要

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纳米级蓝宝石衬底的加工专用抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

纳米硅粉

20

23

乙二醇

13

10

甘油

4

3.5

乙醇氨

0.2

0.3

去离子水

62.8

63.2

制备方法将各组分溶于水混合均匀即可。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：纳米硅粉20~25、乙二醇8~15、甘油3~5、乙醇氨0.1~0.3、去离子水60~65。

产品应用本品为蓝宝石衬底的加工专用抛光液。

蓝宝石衬底的加工步骤如下：

（1）wafer片粘片，根据蓝宝石衬底的特点，利用粘片设备将其长有器件的一面粘贴在玻璃片上，以便于研磨时真空吸附在磨头上，保证芯片粘接的稳定性；

（2）粗