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文件名称：用于钨化学机械抛光的抛光液.doc
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总页数：1 页
更新时间：2026-01-23
总字数：约小于1千字
文档摘要
用于钨化学机械抛光的抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
8#
9#
10#
11#
研
磨
剂
硅溶胶（70nm）
1.5
1.5
1.5
1.5
－
－
－
－
－
－
－
气相二氧化硅（180nm）
－
－
－
－
3
3
3
－
－
－
－
硅溶胶（80nm）
－
－
－
－
－
－
－
2
10
5
0.2
硝酸铁
1.2
1.2
1.2
1.2
1
1
1
2
0.5
0.3
0.1
稳
定
剂
丙二酸
0.3
0.3
0.3
0.3
－
－
－
0.5
－
－
－
2-磷酸丁烷-1,2,4-三羧酸
－
－
－
－
0.25
0.25