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用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

磨料

粒径60nm的SiO2水溶胶颗粒

2

－

－

－

粒径30nm的Al2O3水溶胶颗粒

－

5

－

－

粒径30nm的SiO2水溶胶颗粒

－

－

4

－

粒径130nm的SiO2水溶胶颗粒

－

－

－

2

螯合剂

乙二胺四乙酸

1

－

0.5

－

二亚乙基三胺五乙酸

－

0.5

－

－

三亚乙基四胺六乙酸

－

－

－

0.5

分散剂

环氧乙烷-环氧丙烷嵌段共聚物

2

－

－

－

聚乙二醇

－

2

－

－

聚乙烯胺

－

－

0.5

－

聚丙烯酸

－

－

－

1

活性剂

脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚

2