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文档摘要

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钽化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

三乙醇胺

0.5

－

乙二醇

－

0.6

18MΩ以上超纯去离子水

6.2

5

FA/OI活性剂

0.3

0.4

粒径15~100nm纳米SiO2水溶胶

3

4

制备方法

（1）清洗容器和管道：采用18MΩ以上的超纯去离子水清洗反应器、管道和器具三遍；操作工人身体及手套、口罩及服装进行超净(净化级别：1000级)处理；

（2）将碱性pH调节剂用18MΩ以上超纯去离子水稀释后逐渐加入反应器内的抛光液中，采用负压涡流法进行气体搅拌，其加入量为直至抛光液达到pH值9-12，即可；

（3）将FA/OI型表面活性剂逐渐加入处于负压涡流