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硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

腐蚀剂

6

12

10

40

20

1

4

腐蚀抑制剂

3

0.5

1.5

20

10

0.5

0.5

表面活性剂

1.5

1.5

3.5

10

10

15

5

PH调节剂

1

2.5

1

5

10

0.1

15

去离子水

88.5

83.5

84

25

50

83.4

75.5

制备方法将各组分混合搅拌均匀即可。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：腐蚀剂0.5~40、腐蚀抑制剂0.5~20、表面活性剂0.5~15、PH调节剂0.1~10、去离子水30~95。

上述所说的