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用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

10~30nm的二氧化硅胶体

20

5

5

－

40nm的二氧化钛

－

4

－

－

80nm的二氧化铈

－

－

2

5

硅烷聚乙二醇醚

－

－

－

0.5

聚乙二醇醚

－

0.1

0.3

－

十二烷基乙二醇醚

0.2

0.1

－

－

聚二甲基硅烷

50ppm

50ppm

50ppm

50ppm

异构噻唑啉酮

10ppm

10ppm

10ppm

10ppm

异丙醇

0.03

0.03

0.03

0.03

去离子水

余量

余量

余量

余量

制备方法将各组分混合，使用磁力搅拌机搅拌均匀即可。

原料配伍