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文档摘要

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高精度复合抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

氧化铈

250

250

水

4417

4417

30%平均粒径为80纳米左右的氧化硅或氧化铝

333

333

KOH

调PH至5~11

调PH至10

表面活性剂

－

适量

制备方法

（1）取氧化铈，加入水中，室温下搅拌均匀，制成氧化铈悬浮液。

（2）向氧化铈悬浮液中加入30%平均粒径为80纳米左右的氧化硅或氧化铝，进一步搅匀。

（3）加入KOH，将PH值调至5~11，制成抛光液初品

（4）向抛光液初品中加入适量的表面活性剂。制成抛光液。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：氧化铈249~251、水4416~4418、纳米