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硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

氧

化

剂

H2O2

－

－

3

1

－

2

－

过氧化氢脲

－

10

－

5

－

－

15

过氧化氢

6

－

－

－

－

－

－

过硫酸铵

－

－

－

－

4

1

－

螯

合

剂

乙二胺四乙酸铵

0.3

0.5

2

－

－

－

－

羟乙基乙二胺四乙酸铵

－

－

－

1

－

0.5

0.5

柠檬酸铵

－

－

－

－

3

－

表

面

活

性

剂

十六烷基三甲基溴化铵

－

0.1

0.2

－

－

0.1

0.1

十二烷基醇聚氧乙烯基醚

0.2

0.1

－

0.3

－

0.1

0.1