TDK东京电汽清洁技术 TAS300 Type-E4Type-4 用户手册.pdf

基本信息

文件名称：TDK东京电汽清洁技术 TAS300 Type-E4Type-4 用户手册.pdf

文件大小：816.9 KB

总页数：2 页

更新时间：2026-01-24

总字数：约5.26千字

文档摘要

TheevolutionofTDK

45nmCleanTechnology

All-out,fulloncleanperformanceReliable,DependableDesign

FOUP

LoadPort

TAS300

Type-E4

1.Thehighestdegreeofcleannesseverachievedintheindustry