基本信息
文件名称：Shibaura芝浦机电集团公司设备系列CDE series, SC300-HT series, SC300-CC series FC series, MC150 series, ARES series, TFC-6500, TFC-9300, TFC-6700 说明书.pdf
文件大小：2.26 MB
总页数：12 页
更新时间：2026-01-24
总字数：约1.72万字
文档摘要
芝浦机电集团公司
产品目录
芝浦机电集团公司
产品目录
Contents
DeviceProcess等向性蚀刻设备（CDEseries）
高温磷酸蚀刻设备（SC300-HTseries）
WaferProcess单片硅片清