基于FIB直写法的量子点阵光栅制备与光学性能的深度剖析

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，微纳光学器件在众多领域发挥着愈发关键的作用。量子点阵光栅作为一种新型的微纳光学元件，因其独特的结构和光学特性，在惯性约束核聚变激光等离子体诊断、空间X射线光谱分析、高分辨率光谱仪等前沿领域展现出重要的应用价值。传统的黑白透射光栅在实际应用中，其1级衍射信号常受到高级衍射的干扰，这无疑给光谱解析工作带来了极大的困难，严重影响了对相关物理信息的精确获取。为了解决这一难题，科研人员不断探索创新，量子点阵光栅应运而生。2005年，曹磊峰首次提出了量子点阵光栅（quantum-d