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文件名称：GaN极性及热导率特性研究.pdf
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总页数：23 页
更新时间：2026-01-29
总字数：约2.29万字
文档摘要
GaN极性及热导率特性研究
摘要
就在这里面增加大背景，比如5G，然后最后引导你的GaN不同热导率的研究意义。在一定温度范
围内，导热系数变化的半导体对于功率器件的制造具有重要意义。本文采用实验和理论相结合的方法
研究了c面和a面GaN的热导率。研究了不同面的GaN的热导率及其物理机制。首先，利用脉冲
激光沉积法将蓝宝石衬底上外延生长了300nm厚度的c面和a面GaN薄膜。研究发现在298~773
K的特定温度范围内，c面GaN和a面GaN的导热系数不同。c面GaN的导热系数从298K时的
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