基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器制作技术研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，压力传感器作为一种关键的感知元件，广泛应用于工业自动化、汽车制造、航空航天、生物医学等众多领域。它能够将压力信号转换为可测量的电信号，为系统提供关于压力变化的精确信息，从而实现对各种物理过程的监测与控制。在工业自动化中，压力传感器用于监测管道内流体压力，确保生产过程的稳定运行；在汽车制造领域，它用于测量轮胎气压、油压等参数，保障汽车的安全性能；在航空航天领域，压力传感器对于飞行器的飞行控制和发动机性能监测至关重要；在生物医学领域，它可用于血压测量、呼吸机压力监测等，为医疗诊断和治