基本信息
文件名称:OLYMPUS奥林巴斯晶圆搬送机AL120-LMB12-LP3, AL120-LMB12-F, AL120-VS12, AL120-RC用户手册.pdf
文件大小:16.84 MB
总页数:76 页
更新时间:2026-01-30
总字数:约7.61万字
文档摘要

操作手册

晶圆搬送机

AL120-12系列

300mm半导体晶圆搬送机