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文件名称：SiSb基相变材料用化学机械抛光液.doc
文件大小：81 KB
总页数：2 页
更新时间：2026-01-30
总字数：约1.43千字
文档摘要
SiSb基相变材料用化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
8#
9#
氧化铈颗粒（10nm）
30
－
－
－
－
－
－
－
－
氧化钛颗粒（150nm）
－
2
－
－
－
－
－
－
―
氧化铝颗粒（80nm）
－
－
4
－
－
－
－
－
－
氧化锆颗粒（100nm）
－
－
－
3
－
－
－
－
－
氧化钛颗粒（1500nm）
－
－
－
－
30
－
－
－
－
氧化硅颗粒（200nm）
－
－
－
－
－
1
－
－
－
氧化锆颗粒（30nm）
－
－
－
－
－
－
6
－
－
氧化铝颗粒（1000nm）
－
－
－