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薄膜物理溅射镀膜演示文稿*第1页，共22页。（优选）薄膜物理溅射镀膜第2页，共22页。溅射法利用带电离子在电磁场的作用下获得足够的能量，轰击固体（靶）物质，从靶材表面被溅射出来的原子以一定的动能射向衬底，在衬底上形成薄膜。溅射出的粒子大多呈原子状态，常称为溅射原子。用于轰击靶的荷能粒子可以是电子、离子或中性粒子，因离子在电场下易于加速并获得所需动能，故大多采用离子作为轰击粒子。该离子又称入射离子，这种镀膜技术又称为离子溅射镀膜或沉积。2.3.1概述第3页，共22页。与真空蒸发镀膜相比，溅射镀膜有如下的优点：（1）任何物质