基本信息
文件名称：安乐瓦 GMR薄膜成膜装置说明书.pdf
文件大小：854.55 KB
总页数：6 页
更新时间：2026-02-02
总字数：约1.16万字
文档摘要
1076表面技術
小特集/マルチメデイア時代における真空装置と薄膜応用
GMR膜と成膜装置
恒川孝二*
DepositionSystemforGMRFilms