《Fab厂务水处理篇：水处理系统设备故障处理系列(一):UPW超纯水TOC与颗粒物指标异常超标》

一、故障介绍

超纯水中的总有机碳（TOC）和颗粒物含量是衡量其纯净度的核心指标，直接关系到晶圆清洗效果和产品良率。当在线监测仪表突然报警，显示TOC（通常要求1ppb）或特定尺寸颗粒物数量（如0.05μm颗粒）异常飙升时，表明超纯水系统出现了严重污染，必须立即处理，否则可能导致线上晶圆批次性污染报废。

典型触发场景：

系统启动、停机再启动后，或更换关键部件（如过滤器、膜元件）后。

原水水质发生剧烈波动（如暴雨后）。

分配系统进行维护操作后。

无明显诱因的持续性缓慢升高或间歇性“跳枪”。

二、处