Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器设计案例

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TOC\o1-3\h\u28060Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器设计案例 1

271221四周固支薄膜设计 1

300342压敏电阻设计 3

190652平面与厚度设计 6

嵌入式压阻传感器需要做微型化以封装到直径为350-550μm的医疗导丝中，这对器件的平面尺寸提高了要求，尤其在宽度方向上需要进行多重考虑。我们通过膜片设计与压阻布局优化，并采用半桥结构，既实现了平面宽度缩小，又保证了传感器的性能。下面，本论文从对感压薄膜和压敏电阻的设计等方面进行展开分析，确定了膜片尺寸、压阻位置、掺杂浓度等关键