基本信息
文件名称：氧化铝单晶CZ法生长过程电磁场感应加热数值模拟分析.pdf
文件大小：1.17 MB
总页数：10 页
更新时间：2026-02-03
总字数：约8.73千字
文档摘要
1.介绍
柴氏单晶生长法(Czochralskisinglecrystalgrowthmethod)又称提拉法，是目前生长氧化铝单晶
（phire）最经济也最常使用的方法。为能确保生长氧化铝单晶的质量及掌握坩埚内熔汤的生长情况，使
用以有限元（FEM）为基础的COMSOLMultiphysics软件来进行电磁场、热场及流场三场耦合之柴氏生长
氧化铝单晶过程的数值分析模拟，以获得熔汤内热流场分布情形及相关信息。
本研究主要探讨CZ法生长氧化铝单晶过程中以电磁场感应加热的方式分析坩埚内的熔汤热流场的分
布情形。从未长晶阶段到不同长晶过程逐一进行模拟并