基于对偶离散几何法的集成电路寄生电容参数提取技术深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，集成电路作为现代电子系统的核心，其性能和规模不断提升。集成电路广泛应用于计算机、通信、消费电子、汽车电子等众多领域，成为推动各行业技术进步和创新的关键力量。根据中国半导体行业协会的数据显示，2024年中国集成电路产业销售收入有望突破1.5万亿元，同比增长约18%，产量预计达到3757.0亿块，同比增长26.0%，展现出强劲的发展态势。

在集成电路技术持续进步的过程中，特征尺寸不断缩小，互连线数量和密度大幅增加。这使得寄生电容等寄生效应变得愈发显著，对电路性能产生了不容忽