电子束与电阻复合蒸发：Zr基非晶薄膜制备及性能深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学不断演进的历程中，非晶态合金凭借其独特的原子排列方式和优异的性能，成为了研究的焦点之一。非晶态合金，又被称为金属玻璃，其原子排列缺乏长程有序性，呈现出无序的状态，与传统的晶态合金有着本质的区别。这种独特的结构赋予了非晶态合金许多优异的性能，如高强度、高硬度、良好的耐腐蚀性、出色的软磁性能以及独特的电学和光学性能等。自20世纪60年代首次被发现以来，非晶态合金在众多领域展现出了巨大的应用潜力，引发了广泛的研究热潮。

Zr基非晶合金作为非晶态合金中的重要一员，以锆（Zr）为主要成分，并添