基本信息
文件名称：T_CMEEEA-晶圆表面粗糙度与材料去除率（MRR）关联性测试方法.pdf
文件大小：1.19 MB
总页数：6 页
更新时间：2026-02-04
总字数：约8.44千字
文档摘要
ICS29.045
CCSH80
CMEEEA
团体标准
T/CMEEEAXXXX—2026
晶圆表面粗糙度与材料去除率（MRR）
关联性测试方法
Testmethodforcorrelatingw