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摘要

近年来，微纳尺度的柔性电子器件、光学器件等复杂微小器件，在生物医疗、

航空航天、电子信息和能源等前沿领域展现出重要的应用价值。此类微小器件由

多尺度特征、异质异构的微小零件精密装配而成。微小器件精密装配工艺是微纳

制造与微系统集成的关键技术，直接影响装配目标的功能实现度与服役可靠性。

针对微小器件装配装置所存在的工作空间小、结构冗余度高、夹持稳定性差等问

题，本文面向微小器件精密装配的三维定位与夹持装置开展研究工作。论文的主

要工作如下：

为提高微装配装置的集成性和工作空间，设计了一种