基本信息
文件名称：GEMStar Quantum ALD系统PEALD Thermal ALD System用户手册.pdf
文件大小：311.6 KB
总页数：2 页
更新时间：2026-02-06
总字数：约9.53千字
文档摘要
GEMStarQuantumPEALD/ThermalALDSystem
TheGEMStarQuantumisthelatestgeneration
ofAtomicLayerDeposition(ALD)Systems
targetingdemandingapplicationsrequiring
moreprecisecontrolwhi