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文件名称：三氟化氯气体合成反应研究 - 副本.pdf
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更新时间：2026-02-06
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文档摘要
舰船防化
2016年第3期，13～16CHEMICALDEFENCEoNSHIPSN0．3，13~16
三氟化氯气体合成反应研究
王新喜，刘智慧，黄华瑶，张净普，李丹丹，李翔宇
(中国船舶重工集团公司第七一八研究所，河北邯郸056027)
摘要：电子气体三氟化氯在半导体工业中用作清洗气，本文采用氟气与氯气反