基本信息
文件名称:BOC Edw ards 涡分子泵 STP-301 451 Series 用户手册.pdf
文件大小:729.75 KB
总页数:122 页
更新时间:2026-02-07
总字数:约24.76万字
文档摘要

MT-21E-003-D

STP-301/451Series

TurbomolecularPump

INSTRUCTIONMANUAL

(ThirdEdition-d)

ReadthroughtheSafetyPrecautionsandeachsection

ofthisManualc