基本信息
文件名称：Zeiss 蔡司 电子束曝光 SUPRA 55 Raith ELPHY Quantum 操作说明书.pdf
文件大小：339.13 KB
总页数：4 页
更新时间：2026-02-07
总字数：约4.95千字
文档摘要
电子束曝光操作概要
（EBL，ElectronBeamLithography）
1、扫描电子束曝光系统简介
?ZeissSUPRA55扫描电子显微镜
?热场发射电子枪：ZrO/W灯丝；高分辨率：0.8nm@15kV，1.6nm@1k；
?放大倍数：12~1,000,000×；加速电压：0.02~30kV；
?EBLRaithELPHYQuantum图形发生器
?样片尺寸：最大为20×20mm；