磁控溅射法制备Ti-Si0-N薄膜的工艺探索与性能剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与工程领域，薄膜材料凭借其独特的物理、化学和力学性能，在现代科技发展中扮演着不可或缺的角色，广泛应用于电子、光学、机械、航空航天等众多关键领域。从日常生活中的手机屏幕、太阳能电池板，到高端科技中的集成电路芯片、航空发动机零部件，薄膜材料的身影无处不在，其性能的优劣直接关系到相关产品和设备的性能、可靠性与使用寿命。

磁控溅射法作为一种重要的薄膜制备技术，属于物理气相沉积（PVD）的范畴，自20世纪70年代问世以来，因其具有一系列显著优势而得到了极为广泛的应用与深入研究。在高真空环境以及惰性