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文档摘要

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射频溅射法制备立方氮化硼薄膜及其光学性质的深度剖析

一、引言

1.1立方氮化硼薄膜概述

立方氮化硼（CubicBoronNitride，c-BN）薄膜是一种具有独特晶体结构和卓越性能的材料。其晶体结构为面心立方闪锌矿结构，与金刚石的晶体结构相似，晶格常数约为0.3615nm。在这种结构中，硼原子和氮原子通过共价键相互连接，每个硼原子周围有四个氮原子，每个氮原子周围也有四个硼原子，形成了高度对称且稳定的三维网络结构。这种化学键特点赋予了立方氮化硼薄膜一系列优异的性能。

从力学性能来看，立方氮化硼薄膜具有极高的硬度，其硬度仅次于金刚石，维氏硬度可达68.6-88.2GPa，莫氏